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出貨日 |
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SMC
壓力平衡構造,排氣方向自由的高真空型L型閥。
【特長】
・伸縮囊式無塵化
・低操作扭矩(0.5N・m以下)
・閥開閉時旋鈕高度一定
・備有開關確認用的指示器
・耐氟素強
・輕量・輕巧
・熱傳導率優異, 本體全體可達均一溫度, 生成物的附著急遽減少
・因外洩空氣量少, 因此幫浦能力只要採用小型規格, 排氣時間也可縮短
・不含Ni (鎳)、Cr(鉻)等重金屬,因濺射率也小, 因此晶圓片上的重金屬污染變少
標準出貨日: | 8天 |
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SMC
初期給氣、主給氣都可做流量調整的緩和開啟閥。
【特長】
・閥與針閥一體化構造配管空間1/4(既有比)
・底座部採用金屬膜片,使粉塵大幅降低
・閥的型式:常時閉(加壓開・彈簧密封)
・使用流體:氮氣、空氣、惰性氣體等
・使用溫度:5~60℃(烤焙溫度、150℃以下)
・質量:0.5kg
標準出貨日: | 19天 |
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廠牌 |
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系列名稱 |
CAD |
標準出貨日 |
種類 |
用途 |
設置方法 |
孔口數 |
電磁閥種類 |
切換種類 |
電磁閥驅動種類 |
有效截面積(mm2) |
配管口的種類 |
配管螺牙No. |
連接軟管直徑 |
法蘭種類 |
法蘭公稱 |
CV值 |
廠牌 | SMC | SMC |
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系列名稱 | ||
CAD |
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標準出貨日 | 8天 | 19天 |
種類 | 手動真空閥 | 手動真空閥 |
用途 | 單體使用 | 單體使用 |
設置方法 | 直接 | 直接 |
孔口數 | 2口閥 | 2口閥 |
電磁閥種類 | - | - |
切換種類 | 2位置常關 | 2位置常關 |
電磁閥驅動種類 | - | - |
有效截面積(mm2) | - | 4.6 |
配管口的種類 | 法蘭 | 插入式接頭 |
配管螺牙No. | - | 1/4 |
連接軟管直徑 | - | - |
法蘭種類 | KF | - |
法蘭公稱 | 16 | - |
CV值 | - | 84.87 |
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